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共用設備

FE-SEM+EDX [SU8000]

FE-SEM+EDX [SU8000]
装置名称 FE-SEM+EDX [SU8000]
メーカー名 日立ハイテクノロジーズ / Bruker
型番 SU8000 / Quantax FQ5060
用途 ・微細構造の観察および分析
仕様 ・加速電圧: 0.5~5kV ,
・最大倍率:800k ,
・加速電圧:SE/BSE
利用時間単位 時間(1h)
機器利用料金(税抜金額)
  • 大学・公的機関6,000円/時間
  • 中小企業10,000円/時間
  • 大企業20,000円/時間
利用可能形態
  • 機器利用:○
  • 技術指導:○
  • 技術代行:○
マテリアル先端リサーチインフラの利用 ×
問い合わせ先部署 ナノテクノロジー融合ステーション (ナノファブリケーション)
設置場所 並木地区 MANA棟 414号室

※予約状況につきましては、お問い合わせください。

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