共用設備
共用設備一覧
測定・解析 Measurement/Analysis
NMR Nuclear Magnetic Resonance
| 装置名 | メーカー名 | 型番 |
| NMR | 日本電子 | ECS-400 |
| 500MHz固体汎用NMRシステム | (株)JEOL RESONANCE オックスフォード・インストゥルメンツ(株) |
JNM-ECA 500 |
| 500MHz固体高分解能NMRシステム | (株)JEOL RESONANCE ジャパン スーパーコンダクタ テクノロジー(株) |
JNM-ECZ500R |
| (株)JEOL RESONANCE ジャパン スーパーコンダクタ テクノロジー(株) |
JNM-ECA 800 | |
| 800MHzワイドボア固体高分解能NMRシステム | (株)JEOL RESONANCE | ECZ800 |
X 線回折 X-ray Diffraction
| 装置名 | メーカー名 | 型番 |
| リガク | VariMax DW with Saturn | |
| 温度可変型粉末X線回折装置 | リガク | SmartLab (9 kW) with cryostat/furnace |
| 高輝度・高感度型粉末X線回折装置 | リガク | SmartLab (9 kW) |
| 簡易型粉末X線回折装置 | リガク | MiniFlex600 |
| 高速・高感度型粉末X線回折装置 | リガク | SmartLab3 |
| 簡易型粉末回折計-Cr | リガク | MiniFlex600-Cr |
| 簡易型粉末回折計-Cu_N1 | リガク | MiniFlex600-Cu |
| XRD（粉末） | リガク | RINT-Ultima III |
| XRD（薄膜） | リガク | SmartLab |
| 卓上型粉末回折計-Cu_N2 | リガク | MiniFlex600-Cu_N2 |
元素分析 Elemental Analysis
| 装置名 | メーカー名 | 型番 |
| 電界放出形電子線プローブマイクロアナライザー装置（JXA-8500F） | 日本電子 | JXA-8500F |
| 誘導結合プラズマ発光分析装置（マルチ型）（720 ICP-OES） | アジレント・テクノロジー | 720 ICP-OES |
| 誘導結合プラズマ発光分析装置（高分解能型）（SPS3520UV-DD） | 日立ハイテクサイエンス | SPS3520UV-DD |
| 誘導結合プラズマ発光分光分析装置（マルチ型・デュアルビュー） | アジレント・テクノロジー | Agilent5800 |
| 微小部蛍光X線分析装置（ORBIS PC） | アメテック | ORBIS PC |
| 走査型オージェ電子分光分析装置（JAMP-9500F） | 日本電子 | JAMP-9500F |
| X線光電子分光分析装置（Quantera SXM） | アルバック・ファイ | Quantera SXM |
| 酸素窒素水素分析装置（ONH836）、炭素硫黄分析装置（CS844） | LECOジャパン | ONH836、CS844 |
| イオンクロマトグラフシステム | サーモフィッシャーサイエンティフィック | ICS1600 |
| 前処理装置群 | 山田電機、マイルストーンゼネラル、平和テクニカ、LECOジャパン、コクサン、アサヒ理化学製作所 | ー |
| 走査型硬X線光電子分光分析装置 | アルバックファイ | PHI Quantes |
| FE-SEM+EDX [S-4800] | 日立ハイテクノロジーズ / 堀場製作所 | S4800 / X-MAX 80 |
| FE-SEM+EDX [SU8000] | 日立ハイテクノロジーズ / Bruker | SU8000 / Quantax FQ5060 |
| FE-SEM+EDX [SU8230] | 日立ハイテクノロジーズ | SU8230 |
| 卓上電子顕微鏡 [TM3000] | 日立ハイテクノロジーズ / Bruker | TM3000 |
| 多環境場対応型X線単結晶構造解析装置 | リガク | XtaLAB SynergyCustom DW |
質量分析 Mass Spectrometry
| 装置名 | メーカー名 | 型番 |
| 二重収束型ICP質量分析装置（ELEMENT XR） | サーモフィッシャーサイエンティフィック | ELEMENT XR |
| 飛行時間型二次イオン質量分析装置（TOF-SIMS） | アルバック・ファイ | PHI TRIFT V nanoTOF |
| マルチガス導入グロー放電質量分析システム（VG9000） | サーモフィッシャーサイエンティフィック | VG9000 |
| 四重極型ICP質量分析装置 | アジレント・テクノロジー株式会社 | Agilent7850 |
成分分析 Component Analysis
| 装置名 | メーカー名 | 型番 |
| リサイクル分取GPC | 日本分析工業 | LC-9201 |
| GPC-1（分子材料分離分析装置群） | 島津製作所 Shimadzu | Nexera 40 |
| GPC-2（分子材料分離分析装置群） | 昭和電工 | Shodex GPC-101 |
| 多角度光散乱検出器（分子材料分離分析装置群） | ワイアット・テクノロジー Wyatt Technology | DAWN 8 |
| フーリエ変換赤外分光光度計 | 島津製作所 | IRTracer-100 |
| フーリエ変換赤外分光光度計（IRAffinity-1S） | 島津製作所 | IRAffinity-1S/AIM-9000 |
| 走査型硬X線光電子分光分析装置 | アルバックファイ | PHI Quantes |
バイオ Biological Analysis
| 装置名 | メーカー名 | 型番 |
| リアルタイムPCR | ロシュ | LightCycler 480 System II |
| マイクロアレイスキャナー | アジレント・テクノロジー | SureScan G4900DA |
| 細胞分離分析システム | ソニー | Cell sorter SH800 / Cell analyzer SP6800 |
| グローブボックス | MBRAWN | Uni Lab |
| 超遠心機（生体分子分離装置群） | ベックマン・コールター | Optima-LE80K |
| FPLC（生体分子分離装置群） | GEヘルスケア | FPLC AKTA |
| スプレードライヤー（材料調製装置群） | Buchi | B-290 |
| 電気炉（材料調製装置群） | アドバンテック | FUH632DA |
| プラズマクリーナー（材料調製装置群） | ヤマト科学 | PDC200 |
| 凍結乾燥機（材料調製装置群） | 東京理化器械 | FDU-2110 |
| CO2インキュベーター（バイオ実験装置群） | 三洋電機 | MCO-40AIC |
| クリーンベンチ（バイオ実験装置群） | ヤマト科学 | ADS131RMUGZ |
| 安全キャビネット（バイオ実験装置群） | 三洋電機 | MH131AJ |
| 表面プラズモン解析装置 | GEヘルスケア | Biacore-X100 |
| 円二色性分散計 | 日本分光 | J-725 |
| LC/MS/MS | AMR | Zaplous |
| LC/MS/MS（Q-exactive） | サーモフィッシャーサイエンティフィック | Q-Exactive Plus |
| プレートリーダー | パーキンエルマージャパン | EnSight |
|
ブルカージャパン株式会社 |
NanoWizard 4 XP |
観察・分析 Observation/Analysis
表面顕微鏡 Surface Microscope
| ラマン顕微鏡 | レニショー Renishaw |
inVia Reflex |
| 液中原子間力顕微鏡 | ブルカージャパン株式会社 |
NanoWizard 4 XP |
| フーリエ変換赤外分光光度計（IRAffinity-1S） | 島津製作所 | IRAffinity-1S/AIM-9000 |
光学顕微鏡 Optical Microscope
| 装置名 | メーカー名 | 型番 |
| レーザーマイクロダイセクションシステム | ライカマイクロシステムズ | LMD7000 |
| ラマン顕微鏡 | レニショー Renishaw | inVia Reflex |
| レーザー顕微鏡 [LEXT OLS4000] | オリンパス | LEXT OLS4000 |
| 共焦点顕微鏡SP5 | ライカマイクロシステムズ | SP5 |
| レーザー顕微鏡 [VK-9700] | キーエンス | VK9-9700G |
| 液中原子間力顕微鏡 | ブルカージャパン株式会社 | NanoWizard 4 XP |
| フーリエ変換赤外分光光度計（IRAffinity-1S） | 島津製作所 | IRAffinity-1S/AIM-9000 |
| デジタル顕微鏡 | ハイロックス | RH-8800 |
三次元解析 Three Dimensional Analysis
| 装置名 | メーカー名 | 型番 |
| 微細組織三次元マルチスケール解析装置 | 日立ハイテクサイエンス | Hitachi SMF-1000 |
| TEM試料作製用集束イオンビーム加工装置 | サーモフィッシャー | ThermoFisher Scios2 |
| 清浄表面組織観察FIB-SEM装置 | カールツァイス | ZEISS AurigaLaser |
電子顕微鏡 Electron Microscope
プローブ顕微鏡 Probe Microscope
| 装置名 | メーカー名 | 型番 |
| 走査型プローブ顕微鏡 [L-trace] | SII ナノテクノロジー | L-Trace |
| 走査型プローブ顕微鏡 [Nanoscope5] | ブルカージャパン | Nanoscope 5 |
| 走査型プローブ顕微鏡 [Jupiter XR] | オックスフォード・インストゥルメンツ | Jupiter XR |
|
ブルカージャパン株式会社 |
NanoWizard 4 XP |
評価・計測 Evaluation/Measurement
磁場環境 Magnetic Field Environment
| 装置名 | メーカー名 | 型番 |
| 大口径超伝導マグネット | 自家製 | － |
| 18T汎用超伝導マグネット装置 | ジャパン スーパーコンダクタ テクノロジー | JSD-18T52 |
| 試料振動型磁化測定装置（VSM） | オックスフォード・インストゥルメンツ | Maglab VSM system |
| 冷凍機伝導冷却型12T超伝導マグネット装置 | ジャパン スーパーコンダクタ テクノロジー | JMTD-12T100 |
| 強磁場光学測定システム | クライオジェニック | － |
| 大口径17Tマグネット | ジャパン スーパーコンダクタ テクノロジー | F015 |
電気計測 Electric Measurement
| 装置名 | メーカー名 | 型番 |
| ワイヤーボンダー [7476D #2] | ハイソル (West·Bond) | 7476D |
| ワイヤーボンダー [7476D #1] | West·Bond | Model 7476D |
| 室温プローバー [MX-200/B] | ベクターセミコン, アジレント・テクノロジー | MX-200/B, B1500A |
| 室温プローバー [HMP-400] | アジレント・テクノロジー, ハイソル | B1500A |
| 低温プローバー [GRAIL-408-32-B] | Keithley、ナガセ電子機器 | 4200 SCS, Grail-408-32-B |
| 液体窒素プローバー [SB-LN2] | サーマルブロック、ケースレーインスツルメンツ | SB-LN2PS, 4200-SCS |
物性評価 Physical Properties Evaluation
| 装置名 | メーカー名 | 型番 |
| 接触角測定装置（材料分析装置群） | AST products | VCA Optima XE |
| 強度物性測定器（材料分析装置群） | 英弘精機 | TA-XT2i |
| 薄膜応力測定装置 [FLX-2000-A] | 東朋テクノロジー | FLA-2000-A |
| 分光光度計（分子材料分光分析装置群） | 日立ハイテクノロジーズ | U-2900 |
| 紫外可視近赤外分光計V-770 | 日本分光 | V-770 |
| 蛍光分光光度計（分子材料分光分析装置群） | 日立ハイテクノロジーズ | F-7000 |
| 蛍光分光計 | 日本分光 | FP-8500DS |
| 蛍光分光計（Fluorolog-3） | 堀場製作所 | Fluorolog-3 |
| パーティクルサイズアナライザー（ナノ材料分析装置群） | 島津製作所 | SALD-2100 |
| 動的光散乱計（ナノ材料分析装置群） | 大塚電子 | DLS-8000HAL |
| レーザーゼータ電位計（ナノ材料分析装置群） | 大塚電子 | ELSZ-1000Z |
| ゼータ電位＆粒径測定装置 | 大塚電子 | ELSZ-2000ZS |
| 分光エリプソメーター [M2000] | J.A.Woollam | M-2000U |
| エリプソメーター [MARY-102FM] | ファイブラボ | MARY-102FM |
| 熱分析装置（TG/DTA＋DSC） | 日立ハイテクサイエンス | TG/DTA 6200, X-DSC7000 |
|
ブルカージャパン株式会社 |
NanoWizard 4 XP |
|
| フーリエ変換赤外分光光度計（IRAffinity-1S） | 島津製作所 | IRAffinity-1S/AIM-9000 |
| フーリエ変換赤外分光計 | 日本分光 | FT/IR-6700 |
| 高分子相構造解析システム | 大塚電子 | PP-1000 |
| 高感度・走査型示差熱量計 | ネッチ | DSC200F |
形状測定 Profile Measurement
| 装置名 | メーカー名 | 型番 |
| 触針式プロファイラー [Dektak 6M] | ブルカージャパン | DekTak 6M |
| 高精度三次元座標測定機 | ミツトヨ | CRYSTA-Apex S9106 |
|
ブルカージャパン株式会社 |
NanoWizard 4 XP |
|
| 走査型プローブ顕微鏡 [Jupiter XR] | オックスフォード・インストゥルメンツ | Jupiter XR |
| FE-SEM+EDX [S-4800] | 日立ハイテクノロジーズ / 堀場製作所 | S4800 / X-MAX 80 |
| FE-SEM+EDX [SU8000] | 日立ハイテクノロジーズ / Bruker | SU8000 / Quantax FQ5060 |
| FE-SEM+EDX [SU8230] | 日立ハイテクノロジーズ | SU8230 |
| 卓上電子顕微鏡 [TM3000] | 日立ハイテクノロジーズ / Bruker | TM3000 |
| 走査型プローブ顕微鏡 [L-trace] | SII ナノテクノロジー | L-Trace |
| デジタル顕微鏡 | ハイロックス | RH-8800 |
| 高分子相構造解析システム | 大塚電子 | PP-1000 |
塑性加工 Plastic Working
| 装置名 | メーカー名 | 型番 |
| 1500t鍛造シミュレータ | 住友重機械工業 | ー |
| 25t加工熱処理シミュレータ | 富士電波工機 | Thermecmaster Z |
加工・作製 Processing/Fabrication
ガラス加工 Glass Working
| 装置名 | メーカー名 | 型番 |
| 硝子工作室装置群 | ー | ー |
素材作製 Metal Working
| 装置名 | メーカー名 | 型番 |
| 水冷銅ルツボ高周波誘導溶解設備 | 富士電機、NIMS | - |
| 5kg高周波誘導真空溶解設備 | 日新技研 | NEV-M5V |
| 30kg高周波誘導真空溶解設備 | 日新技研 | NEV-M30 |
| 加圧式エレクトロスラグ再溶解設備 | 日本特殊機械 | 型番なし |
| 鍛造設備（油圧プレス） | 川崎油工 | HFP2-300 |
| 70ton大型スウェージングマシーン | 日本クロス圧延 | 15HP-DH4 |
| 18ton小型スウェージングマシーン | 日本クロス圧延 | USD-6000 |
| 熱間2段ロール圧延機 | 大野ロール | HOT-12 |
| 溝ロール圧延機 | 大野ロール | 2RMG-400S |
| 冷間4段ロール圧延機 | 日本クロス圧延 | 120DX270W-300DX250W |
| 歪み速度制御圧延機 | 大野ロール | 2RM-400S |
| 金属箔圧延機 | 有限会社トップラントエンジ | ー |
| 鍛圧用加熱炉（max.1250℃） | 日新化熱工業 | ー |
| 鍛圧用移動式加熱炉（max.1200℃） | 日新化熱工業 | EBS-1(S) |
| 溝圧用加熱炉（max.1250℃） | 光洋サーモシステム | SB-20232 |
| 熱処理炉（max.1400℃） | 日新化熱工業 | EBS-10(S) |
| 焼鈍用熱処理炉（max.850℃） | 日新化熱工業 | EB-5S |
| マルチ冷却式真空熱処理炉 | 佐藤真空 | ー |
| 電子ビーム溶接機 | 三菱電機 | EBW-35HB |
| ワイヤ放電加工機 | ファナック | α-C400iA |
| 材料創製共通設備群 | ー | ー |
| 千現機械工作室 工作機械群 | ー | ー |
| 並木機械工作室 工作機械群 | ー | ー |
| 試料作製室装置群 | ー | ー |
| ダイシングソー [DAD3220] | ディスコ | DAD-3220 |
微細加工 Microfabrication
| 装置名 | メーカー名 | 型番 |
| 電子ビーム描画装置 [ELS-F125] | エリオニクス | ELS-F125 |
| マスクレス露光装置 [DL-1000/NC2P] | ナノシステムソリューションズ | DL-1000 / NC2P |
| マスクレス露光装置 [DL-1000] | ナノシステムソリューションズ | DL-1000 |
| マスクアライナー [MA-6] | ズース・マイクロテック | MA-6 |
| スパッタ装置 [JSP-8000] | アルバック | J sputter |
| スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #3] | 芝浦メカトロニクス | CFS-4EP-LL |
| スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #2] | 芝浦メカトロニクス | CFS-4EP-LL |
| 電子銃型蒸着装置 [RDEB-1206K] | アールデック | RDEB-1206K |
| 電子銃型蒸着装置 [ADS-E86] | アールデック | ADS-E86 |
| 電子銃型蒸着装置 [MB-501010] | エイコーエンジニアリング | ー |
| SiNプラズマCVD装置 [PD-220NL] | サムコ | PD-220NL |
| 原子層堆積装置 [SUNALE R-150] | アルテック/Picosun | SUNALE R-150 ALD |
| 原子層堆積装置 [AD-230LP] | サムコ | AD-230LP |
| CCP-RIE装置 [RIE-200NL] | サムコ | RIE-200NL |
| ICP-RIE装置 [RIE-101iPH] | サムコ | RIE-101iPH |
| シリコンDRIE装置 [ASE-SRE] | 住友精密工業 | MUC-21 ASE-SRE |
| ICP-RIE装置 [RV-APS-SE] | 住友精密工業 | MUC-21 RV-APS-SE |
| ICP-RIE装置 [CE300I] | アルバック | CE300I |
| 原子層エッチング装置 [PlasmaPro 100 ALE] | オックスフォード・インストゥルメンツ | PlasmaPro 100 Cobra 300 ALE |
| リフトオフ装置 [KLO-150CBU] | カナメックス | KLO-150CBU |
| UVオゾンクリーナー [UV-1] | サムコ | UV-1 |
| 赤外線ランプ加熱装置 [RTP-6 #2] | アドバンス理工 | RTP-6 |
| 触針式プロファイラー [Dektak XT-A] | ブルカージャパン | Dektak XT-A |
| 赤外線ランプ加熱装置 [RTP-6 #1] | アルバック | RTP-6 |
| ダイシングソー [DAD322] | ディスコ | DAD322 |
| ダイシングソー [DAD3220] | ディスコ | DAD-3220 |
| 水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500 #1] | サムコ | AQ-500 |
| レーザー描画装置 [DWL66+] | ハイデルベルグ・インストルメンツ | DWL66+ |
| 電子ビーム描画装置 [ELS-BODEN100] | 株式会社 エリオニクス | ELS-BODEN |
| 並木クリーンルーム | ヤマト科学(株)、ミカサ（株）、オリンパス（株） | ー |
| FE-SEM [S-4800] | 日立ハイテクノロジーズ | S-4800 |
| 走査型プローブ顕微鏡 [Jupiter XR] | オックスフォード・インストゥルメンツ | Jupiter XR |
| レーザー顕微鏡 [LEXT OLS4000] | オリンパス | LEXT OLS4000 |
| イオンスパッタ [E-1045] | 日立ハイテクノロジーズ | E-1045 |
| エリプソメーター [MARY-102FM] | ファイブラボ | MARY-102FM |
| 顕微分光膜厚計 [F54-XY-200-UV] | フィルメトリクス | F54-XY-200-UV |
| 薄膜応力測定装置 [FLX-2000-A] | 東朋テクノロジー | FLA-2000-A |
| 室温プローバー [MX-200/B] | ベクターセミコン, アジレント・テクノロジー | MX-200/B, B1500A |
| 液体窒素プローバー [SB-LN2] | サーマルブロック、ケースレーインスツルメンツ | SB-LN2PS, 4200-SCS |
| ワイヤーボンダー [7476D #2] | ハイソル (West·Bond) | 7476D |
| ワイヤーボンダー [7476D #1] | West·Bond | Model 7476D |
| SiO2プラズマCVD装置 [PD-220NL] | サムコ株式会社 | PD-220NL |
| 赤外線ランプ加熱装置 [RTP-6 #3] | アドバンス理工株式会社 | RTP-6 |
| 電子銃型蒸着装置 [UEP-3000BS] | 株式会社アルバック | UEP-3000BS |
| マスクレス露光装置 [MLA150] | ハイデルベルグ・インストルメンツ | MLA150 |
| 水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500 #2] | サムコ | AQ-500 |
| 電子ビーム描画装置 [JBX-8100FS] | 日本電子 | JBX-8100FS |
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