共用設備

共用設備一覧

測定・解析 Measurement/Analysis

NMR Nuclear Magnetic Resonance

装置名 メーカー名 型番
NMR 日本電子 ECS-400
500MHz固体汎用NMRシステム (株)JEOL RESONANCE
オックスフォード・インストゥルメンツ(株)
JNM-ECA 500
500MHz固体高分解能NMRシステム (株)JEOL RESONANCE
ジャパン スーパーコンダクタ テクノロジー(株)
JNM-ECZ500R

800MHzナローボア固体高分解能NMRシステム

(株)JEOL RESONANCE
ジャパン スーパーコンダクタ テクノロジー(株)
JNM-ECA 800
800MHzワイドボア固体高分解能NMRシステム (株)JEOL RESONANCE ECZ800

X 線回折 X-ray Diffraction

装置名 メーカー名 型番
2波長CCD低温単結晶X線回折装置 リガク VariMax DW with Saturn
温度可変型粉末X線回折装置 リガク SmartLab (9 kW) with cryostat/furnace
高輝度・高感度型粉末X線回折装置 リガク SmartLab (9 kW)
簡易型粉末X線回折装置 リガク MiniFlex600
高速・高感度型粉末X線回折装置 リガク SmartLab3
簡易型粉末回折計-Cr リガク MiniFlex600-Cr
簡易型粉末回折計-Cu_N1 リガク MiniFlex600-Cu
XRD(粉末) リガク RINT-Ultima III
XRD(薄膜) リガク SmartLab
卓上型粉末回折計-Cu_N2 リガク MiniFlex600-Cu_N2

元素分析 Elemental Analysis

装置名 メーカー名 型番
電界放出形電子線プローブマイクロアナライザー装置 日本電子 JXA-8500F
誘導結合プラズマ発光(分光)分析装置(マルチ型) アジレント・テクノロジー 720 ICP-OES
誘導結合プラズマ発光(分光)分析装置(高分解能型) 日立ハイテクサイエンス SPS3520UV-DD
誘導結合プラズマ発光分光分析装置(マルチ型・デュアルビュー アジレント・テクノロジー Agilent5800
微小部蛍光X線分析装置 アメテック ORBIS PC
走査型オージェ電子分光分析装置 日本電子 JAMP-9500F
X線光電子分光分析装置 アルバック・ファイ Quantera SXM
酸素窒素水素分析装置、炭素硫黄分析装置 LECOジャパン ONH836、CS844
イオンクロマトグラフシステム サーモフィッシャーサイエンティフィック ICS1600
前処理装置群 山田電機、マイルストーンゼネラル、平和テクニカ、LECOジャパン、コクサン、アサヒ理化学製作所
走査型硬X線光電子分光分析装置 アルバックファイ PHI Quantes
FE-SEM+EDX [S-4800] 日立ハイテクノロジーズ / 堀場製作所 S4800 / X-MAX 80
FE-SEM+EDX [SU8000] 日立ハイテクノロジーズ / Bruker SU8000 / Quantax FQ5060
FE-SEM+EDX [SU8230] 日立ハイテクノロジーズ SU8230
卓上電子顕微鏡 [TM3000] 日立ハイテクノロジーズ / Bruker TM3000

質量分析 Mass Spectrometry

装置名 メーカー名 型番
二重収束型ICP質量分析装置 サーモフィッシャーサイエンティフィック ELEMENT XR
飛行時間型二次イオン質量分析装置 アルバック・ファイ PHI TRIFT V nanoTOF
マルチガス導入グロー放電質量分析システム サーモフィッシャーサイエンティフィック VG9000
四重極型ICP質量分析装置 アジレント・テクノロジー株式会社 Agilent7850

成分分析 Component Analysis

装置名 メーカー名 型番
リサイクル分取GPC 日本分析工業 LC-9201
GPC 島津製作所 Shimadzu Nexera 40
GPC 昭和電工 Shodex GPC-101
多角度光散乱検出器 ワイアット・テクノロジー Wyatt Technology DAWN 8
フーリエ変換赤外分光光度計 島津製作所 IRTracer-100
フーリエ変換赤外分光光度計 島津製作所 IRAffinity-1S/ AIM-9000
走査型硬X線光電子分光分析装置 アルバックファイ PHI Quantes

バイオ Biological Analysis

装置名 メーカー名 型番
リアルタイムPCR ロシュ LightCycler 480 System II
マイクロアレイスキャナー アジレント・テクノロジー SureScan G4900DA
細胞分離分析システム ソニー Cell sorter SH800 / Cell analyzer SP6800
グローブボックス MBRAWN Uni Lab
卓上超遠心分離機  ベックマン・コールター Optima-TLX
超遠心分離機  ベックマン・コールター Optima-LE80K
FPLC  GEヘルスケア FPLC AKTA
スプレードライヤー Buchi B-290
電気炉 アドバンテック FUH632DA
プラズマクリーナー ヤマト科学 PDC200
凍結乾燥機 東京理化器械 FDU-2110
CO2インキュベーター 三洋電機 MCO-40AIC
クリーンベンチ ヤマト科学 ADS131RMUGZ
安全キャビネット 三洋電機 MH131AJ
表面プラズモン解析装置 GEヘルスケア Biacore-X100
円二色性分散計 日本分光 J-725
LC-MS/MS AMR Zaplous
LC-MS/MS (Q-Exactive) サーモフィッシャーサイエンティフィック Q-Exactive Plus
プレートリーダー パーキンエルマージャパン EnSight

液中原子間力顕微鏡

ブルカージャパン株式会社

NanoWizard 4 XP

 

観察・分析 Observation/Analysis

表面顕微鏡 Surface Microscope

ラマン顕微鏡 レニショー Renishaw

inVia Reflex

液中原子間力顕微鏡 ブルカージャパン株式会社

NanoWizard 4 XP

フーリエ変換赤外分光光度計 島津製作所 IRAffinity-1S/ AIM-9000

光学顕微鏡 Optical Microscope

装置名 メーカー名 型番
レーザーマイクロダイセクションシステム ライカマイクロシステムズ LMD7000
ラマン顕微鏡 レニショー Renishaw inVia Reflex
レーザー顕微鏡 [LEXT OLS4000] オリンパス LEXT OLS4000
共焦点レーザー走査型蛍光顕微鏡 ライカマイクロシステムズ SP5
レーザー顕微鏡 [VK-9700] キーエンス VK9-9700G
液中原子間力顕微鏡 ブルカージャパン株式会社 NanoWizard 4 XP
フーリエ変換赤外分光光度計 島津製作所 IRAffinity-1S/ AIM-9000

三次元解析 Three Dimensional Analysis

装置名 メーカー名 型番
微細組織三次元マルチスケール解析装置 日立ハイテクサイエンス Hitachi SMF-1000
TEM試料作製用集束イオンビーム加工装置 サーモフィッシャー ThermoFisher Scios2

電子顕微鏡 Electron Microscope

装置名 メーカー名 型番
FIB加工装置 日本電子 JEM-9320FIB
FIB加工装置 日本電子 JEM-9310FIB
FIB加工装置 日本電子 JIB-4000
デュアルビーム加工観察装置 (株)日立ハイテクノロジーズ NB5000
清浄表面組織観察FIB-SEM装置 カールツァイス ZEISS AurigaLaser
走査電子顕微鏡 日本電子 JSM-7000F
極低加速電圧電界放出形走査電子顕微鏡 日立ハイテクノロジーズ SU8000
超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 日立ハイテクノロジーズ S-5500
電界放出形走査電子顕微鏡 日本電子 JSM-6500F
走査電子顕微鏡 日本電子 JSM-6510
FE-SEM [S-4800] 日立ハイテクノロジーズ S-4800
卓上電子顕微鏡 日立ハイテクノロジーズ Miniscope TM3000
卓上電子顕微鏡(TM4000PlusII) 日立ハイテクノロジーズ TM4000PlusII
FE-SEM+EDX [SU8230] 日立ハイテクノロジーズ SU8230
FE-SEM+EDX [S-4800] 日立ハイテクノロジーズ / 堀場製作所 S4800 / X-MAX 80
FE-SEM+EDX [SU8000] 日立ハイテクノロジーズ / Bruker SU8000 / Quantax FQ5060
卓上電子顕微鏡 [TM3000] 日立ハイテクノロジーズ / Bruker TM3000
走査型電子顕微鏡 日本電子 JEOL JSM-7900
ショットキー電界放出型走査電子顕微鏡 日本電子 JSM7001F
実動環境対応物理分析電子顕微鏡 日本電子 JEM-ARM200F-G
200kV電界放出形透過電子顕微鏡 日本電子 JEM-2100F1
200kV電界放出形透過電子顕微鏡 日本電子 JEM-2100F2
200kV透過電子顕微鏡 日本電子 JEM-2100
透過電子顕微鏡 日本電子 JEM2100F
単原子分析電子顕微鏡 FEI FEI Titan Cubed
冷陰極電界放出形電子顕微鏡 日立ハイテクノロジーズ HF-3000S
冷陰極電界放出形ローレンツ電子顕微鏡 日立ハイテクノロジーズ HF-3000L
100kV透過電子顕微鏡 日本電子 JEM-1010
200kV透過電子顕微鏡 日本電子 JEM-2000EX

300kV収差補正電子顕微鏡(Grand-ARM)

日本電子 JEM-ARM300F
実動環境対応電子線ホログラフィー電子顕微鏡 日本電子 JEM-ARM200F-B
局所変形観察・解析電子顕微鏡(透過型電子顕微鏡) 日本電子 JEOL JEM-2800
広空間・高分解能分析電子顕微鏡 日本電子 JEOL ARM-300F
HRTEM解析システム    
電子線トモグラフィー解析システム    
DPC解析システム HREM qDPC 64bit
ウルトラミクロトーム ライカマイクロシステムズ EM UC6
ディンプルグラインダー(TEM試料作製装置群) Gatan Model 656
精密イオン研磨装置(PIPS 2)(TEM試料作製装置群) Gatan Model 695
精密イオン研磨装置(PIPS)(TEM試料作製装置群) Gatan Model 691
イオンスライサー(TEM試料作製装置群) 日本電子 EM-09100IS
ターボ式真空蒸着装置(TEM試料作製装置群) サンユー電子 SVC-700
オスミウムコーター(1)(TEM試料作製装置群) 日本レーザー電子 NL-OPC80A
カーボンコーター 日本電子 JEC-560
白金コーター                 日本電子 JFC-1600
自動精密切断機 BEUHLER  
楔形研磨装置                  Allied  
精密コーティングシステム Gatan Model 682
平面研磨装置 マルトー ダイヤラップ ML-150L
金コーター   JFC-1500
超音波ディスクカッター   Model 601
TEM試料作製補助装置群(TEM試料作製装置群)    
ピックアップシステム  - Pick-up System
無損傷電子顕微鏡試料薄片化装置 フィッシオーネ Model 1040 Nanomill
イオンスパッタ [E-1045] 日立ハイテクノロジーズ E-1045
FIB/SEM精密微細加工装置 日本エフイー・アイ Helios 650
2軸傾斜液体窒素冷却TEM試料ホルダー Gatan Gatan 636
2軸傾斜バイアス印可・加熱TEM試料ホルダー DENSsolutions Lightning
小型精密切断器(セラミックス試料作製装置群) TECHNOORG-LINDA MS2 MICROSAW
卓上研磨機(セラミックス試料作製装置群) マルトー ML-180 DoctorLap
標準形デジタルインジケータ(セラミックス試料作製装置群) ミツトヨ 543-175 デジタルインジケータ
ディンプルグラインダ(セラミックス試料作製装置群) ガタン 656 DimpleGrinder
ホットプレート(セラミックス試料作製装置群) アズワン HP-1SAハイパワーデジタルホットプレート
マルチコーター(セラミックス試料作製装置群) 真空デバイス VES-30T
精密イオン研磨装置(セラミックス試料作製装置群) ガタン 695PIPS II
TEM試料自動作製FIB-SEM複合装置 株式会社日立ハイテク Ethos NX5000
200kV透過電子顕微鏡(Talos F200X G2) 日本エフイー・アイ株式会社 Talos F200X G2

プローブ顕微鏡 Probe Microscope

装置名 メーカー名 型番
走査型プローブ顕微鏡 [L-trace] SII ナノテクノロジー L-Trace
走査型プローブ顕微鏡 [Nanoscope5] ブルカージャパン Nanoscope 5
走査型プローブ顕微鏡 [Jupiter XR] オックスフォード・インストゥルメンツ Jupiter XR

液中原子間力顕微鏡

ブルカージャパン株式会社

NanoWizard 4 XP

 

評価・計測 Evaluation/Measurement

磁場環境 Magnetic Field Environment

装置名 メーカー名 型番
大口径超伝導マグネット 自家製
18T汎用超伝導マグネット装置 ジャパン スーパーコンダクタ テクノロジー JSD-18T52
15T超伝導スプリットマグネット装置 ジャパン スーパーコンダクタ テクノロジー Teslatron H 15T Sprit pair magnet
冷凍機伝導冷却型10T超伝導マグネット装置-2 住友重機械工業 ソレノイド中空貫通型
試料振動型磁化測定装置(VSM) オックスフォード・インストゥルメンツ Maglab VSM system
冷凍機伝導冷却型12T超伝導マグネット装置 ジャパン スーパーコンダクタ テクノロジー JMTD-12T100
20Tマグネット・希釈冷凍機システム オックスフォード・インストゥルメンツ
20Tマグネット・ヘリウム3冷凍機システム オックスフォード・インストゥルメンツ
17Tマグネット・ヘリウム4VTIシステム オックスフォード・インストゥルメンツ
強磁場光学測定システム クライオジェニック
大口径17Tマグネット ジャパン スーパーコンダクタ テクノロジー F015
高磁場下材料・プロセス観測・制御装置 ジャパン スーパーコンダクタ テクノロジー JMTD-10C13E-NC (Superconducting magnet)

電気計測 Electric Measurement

装置名 メーカー名 型番
ワイヤーボンダー [7476D #2] ハイソル (West·Bond) 7476D
ワイヤーボンダー [7476D #1] West·Bond Model 7476D
室温プローバー [MX-200/B] ベクターセミコン, アジレント・テクノロジー MX-200/B, B1500A
室温プローバー [HMP-400] アジレント・テクノロジー, ハイソル B1500A
低温プローバー [GRAIL-408-32-B] Keithley、ナガセ電子機器 4200 SCS, Grail-408-32-B
液体窒素プローバー [SB-LN2] サーマルブロック、ケースレーインスツルメンツ SB-LN2PS, 4200-SCS

物性評価 Physical Properties Evaluation

装置名 メーカー名 型番
接触角測定装置(材料分析装置群) AST products VCA Optima XE
強度物性測定器(材料分析装置群) 英弘精機 TA-XT2i
薄膜応力測定装置 [FLX-2000-A] 東朋テクノロジー FLA-2000-A
分光光度計 日立ハイテクノロジーズ U-2900
紫外可視近赤外分光光度計V-770 日本分光 V-770
蛍光分光光度計(低温測定付属)(分子材料分光分析装置群) 日立ハイテクノロジーズ F-7000
蛍光分光計 日本分光 FP-8500DS
蛍光分光計(Fluorolog-3) 堀場製作所 Fluorolog-3
レーザー回折式粒度分布測定装置(ナノ材料分析装置群) 島津製作所 SALD-2100
動的光散乱光度計(ダイナミック光散乱光度計)(ナノ材料分析装置群) 大塚電子 DLS-8000HAL
レーザーゼータ電位計(ナノ材料分析装置群) 大塚電子 ELSZ-1000Z
ゼータ電位&粒径測定装置 大塚電子 ELSZ-2000ZS
分光エリプソメーター [M2000] J.A.Woollam M-2000U
エリプソメーター [MARY-102FM] ファイブラボ MARY-102FM
熱分析装置(TG/DTA+DSC) 日立ハイテクサイエンス TG/DTA 6200, X-DSC7000

液中原子間力顕微鏡

ブルカージャパン株式会社

NanoWizard 4 XP

フーリエ変換赤外分光光度計 島津製作所 IRAffinity-1S/ AIM-9000

形状測定 Profile Measurement

装置名 メーカー名 型番
触針式プロファイラー [Dektak 6M] ブルカージャパン DekTak 6M
高精度三次元座標測定機 ミツトヨ CRYSTA-Apex S9106

液中原子間力顕微鏡

ブルカージャパン株式会社

NanoWizard 4 XP

走査型プローブ顕微鏡 [Jupiter XR] オックスフォード・インストゥルメンツ Jupiter XR
FE-SEM+EDX [S-4800] 日立ハイテクノロジーズ / 堀場製作所 S4800 / X-MAX 80
FE-SEM+EDX [SU8000] 日立ハイテクノロジーズ / Bruker SU8000 / Quantax FQ5060
FE-SEM+EDX [SU8230] 日立ハイテクノロジーズ SU8230
卓上電子顕微鏡 [TM3000] 日立ハイテクノロジーズ / Bruker TM3000
走査型プローブ顕微鏡 [L-trace] SII ナノテクノロジー L-Trace

塑性加工 Plastic Working

装置名 メーカー名 型番
1500トン鍛造シミュレータ 住友重機械工業
25t加工熱処理シミュレータ 富士電波工機 Thermecmaster Z

 

加工・作製 Processing/Fabrication

ガラス加工 Glass Working

装置名 メーカー名 型番
硝子工作室装置群

素材作製 Metal Working

装置名 メーカー名 型番
水冷銅ルツボ高周波誘導溶解設備 富士電機、NIMS -
5kg高周波誘導真空溶解設備 日新技研 NEV-M5V
30kg高周波誘導真空溶解設備 日新技研 NEV-M30
加圧式エレクトロスラグ再溶解設備 日本特殊機械 型番なし
鍛造設備 (油圧プレス) 川崎油工 HFP2-300
70ton大型スウェージングマシーン 日本クロス圧延 15HP-DH4
18ton小型スウェージングマシーン 日本クロス圧延 USD-6000
熱間2段ロール圧延機 大野ロール HOT-12
溝ロール圧延機 大野ロール 2RMG-400S
冷間4段ロール圧延機 日本クロス圧延 120DX270W-300DX250W
歪み速度制御圧延機 大野ロール 2RM-400S
金属箔圧延機 有限会社トップラントエンジ
鍛圧用加熱炉(max.1250℃) 日新化熱工業  
鍛圧用移動式加熱炉(max.1200℃) 日新化熱工業 EBS-1(S)
溝圧用加熱炉(max.1250℃) 光洋サーモシステム SB-20232
熱処理炉(max.1400℃) 日新化熱工業 EBS-10(S)
焼鈍用熱処理炉(max.850℃) 日新化熱工業 EB-5S
マルチ冷却式真空熱処理炉 佐藤真空
電子ビーム溶接機 三菱電機 EBW-35HB
ワイヤ放電加工機 ファナック α-C400iA
材料創製共通設備群
千現機械工作室 工作機械群
並木機械工作室 工作機械群
試料作製室装置群
ダイシングソー [DAD3220] ディスコ DAD-3220

微細加工 Microfabrication

装置名 メーカー名 型番
電子ビーム描画装置 [ELS-F125] エリオニクス ELS-F125
マスクレス露光装置 [DL-1000/NC2P] ナノシステムソリューションズ DL-1000 / NC2P
マスクレス露光装置 [DL-1000] ナノシステムソリューションズ DL-1000
マスクアライナー [MA-6] ズース・マイクロテック MA-6
スパッタ装置 [JSP-8000] アルバック J sputter
スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #3] 芝浦メカトロニクス CFS-4EP-LL
スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #1] 芝浦メカトロニクス CFS-4EP-LL(4G)
スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #2] 芝浦メカトロニクス CFS-4EP-LL
電子銃型蒸着装置 [RDEB-1206K] アールデック RDEB-1206K
電子銃型蒸着装置 [ADS-E86] アールデック ADS-E86
電子銃型蒸着装置 [MB-501010] エイコーエンジニアリング
SiNプラズマCVD装置 [PD-220NL] サムコ PD-220NL
原子層堆積装置 [SUNALE R-150]   アルテック/Picosun SUNALE R-150 ALD
原子層堆積装置 [AD-230LP] サムコ AD-230LP
CCP-RIE装置 [RIE-200NL] サムコ RIE-200NL
ICP-RIE装置 [RIE-101iPH] サムコ RIE-101iPH
シリコンDRIE装置 [ASE-SRE] 住友精密工業 MUC-21 ASE-SRE
ICP-RIE装置 [RV-APS-SE] 住友精密工業 MUC-21 RV-APS-SE
ICP-RIE装置 [CE300I] アルバック CE300I
原子層エッチング装置 [PlasmaPro 100 ALE] オックスフォード・インストゥルメンツ PlasmaPro 100 Cobra 300 ALE
リフトオフ装置 [KLO-150CBU] カナメックス KLO-150CBU
プラズマアッシャー [PB600] ヤマト科学 PB-600Z
UVオゾンクリーナー [UV-1] サムコ UV-1
エキシマクリーナー [EXC-1201] マルチプライ EXC-1201
赤外線ランプ加熱装置 [RTP-6 #2] アドバンス理工 RTP-6
触針式プロファイラー [Dektak XT-A] ブルカージャパン Dektak XT-A
赤外線ランプ加熱装置 [RTP-6 #1] アルバック RTP-6
ダイシングソー [DAD322] ディスコ DAD322
ダイシングソー [DAD3220] ディスコ DAD-3220
水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500] サムコ AQ-500
レーザー描画装置 [DWL66+] ハイデルベルグ・インストルメンツ DWL66+
電子ビーム描画装置 [ELS-BODEN100] 株式会社 エリオニクス ELS-BODEN
並木クリーンルーム ヤマト科学(株)、ミカサ(株)、オリンパス(株)     ー
FE-SEM [S-4800] 日立ハイテクノロジーズ S-4800
走査型プローブ顕微鏡 [Jupiter XR] オックスフォード・インストゥルメンツ Jupiter XR
レーザー顕微鏡 [LEXT OLS4000] オリンパス LEXT OLS4000
FIB-SEM装置 [XVision200DB] SII ナノテクノロジー XVision200DB
イオンスパッタ [E-1045] 日立ハイテクノロジーズ E-1045
エリプソメーター [MARY-102FM] ファイブラボ MARY-102FM
顕微分光膜厚計 [F54-XY-200-UV]  フィルメトリクス F54-XY-200-UV
薄膜応力測定装置 [FLX-2000-A] 東朋テクノロジー FLA-2000-A
室温プローバー [MX-200/B] ベクターセミコン, アジレント・テクノロジー MX-200/B, B1500A
液体窒素プローバー [SB-LN2] サーマルブロック、ケースレーインスツルメンツ SB-LN2PS, 4200-SCS
ワイヤーボンダー [7476D #2] ハイソル (West·Bond) 7476D
ワイヤーボンダー [7476D #1] West·Bond Model 7476D
SiO2プラズマCVD装置 [PD-220NL] サムコ株式会社 PD-220NL
赤外線ランプ加熱装置 [RTP-6 #3] アドバンス理工株式会社 RTP-6
電子銃型蒸着装置 [UEP-3000BS] 株式会社アルバック UEP-3000BS

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