共用設備

共用設備一覧

加工・作製 Processing /Manufacturing

微細加工 Microfabrication

装置名 メーカー名 型番
電子銃型蒸着装置 [ADS-E810] アールデック ADS-E810
スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #4] 芝浦メカトロニクス CFS-4EP-LL
分光エリプソメーター [UNECS-2000A] (株)アルバック UNECS-2000A
低ダメージ精密エッチング装置 [Spica #1] 住友精密工業(株) Spica
低ダメージ精密エッチング装置 [Spica #2] 住友精密工業(株) Spica
電子ビーム描画装置 [JBX-8100FS] 日本電子(株) JBX-8100FS
電子ビーム描画装置 [ELS-F125] (株)エリオニクス ELS-F125
電子ビーム描画装置 [ELS-BODEN100] (株)エリオニクス ELS-BODEN
レーザー描画装置 [DWL66+] ハイデルベルグ・インストルメンツ(株) DWL66+
マスクレス露光装置 [DL-1000] (株)ナノシステムソリューションズ DL-1000
マスクレス露光装置 [DL-1000/NC2P] (株)ナノシステムソリューションズ DL-1000 / NC2P
マスクレス露光装置 [MLA150] ハイデルベルグ・インストルメンツ(株) MLA150
マスクアライナー [MA-6] ズース・マイクロテック MA-6
水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500 #1] サムコ(株) AQ-500
水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500 #2] サムコ(株) AQ-500
UVオゾンクリーナー [UV-1] サムコ(株) UV-1
スパッタ装置 [JSP-8000] (株)アルバック J sputter
スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #2] 芝浦メカトロニクス(株) CFS-4EP-LL
スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #3] 芝浦メカトロニクス(株) CFS-4EP-LL
電子銃型蒸着装置 [RDEB-1206K] (株)アールデック RDEB-1206K
電子銃型蒸着装置 [ADS-E86] (株)アールデック ADS-E86
電子銃型蒸着装置 [MB-501010] (株)エイコーエンジニアリング MB-501010
原子層堆積装置 [SUNALE R-150] アルテック(株)/Picosun SUNALE R-150 ALD
原子層堆積装置 [AD-230LP] サムコ(株) AD-230LP
SiO2プラズマCVD装置 [PD-220NL] サムコ(株) PD-220NL
SiNプラズマCVD装置 [PD-220NL] サムコ(株) PD-220NL
リフトオフ装置 [KLO-150CBU] (株)カナメックス KLO-150CBU
CCP-RIE装置 [RIE-200NL] サムコ(株) RIE-200NL
ICP-RIE装置 [RIE-101iPH] サムコ(株) RIE-101iPH
ICP-RIE装置 [RV-APS-SE] 住友精密工業(株) MUC-21 RV-APS-SE
ICP-RIE装置 [CE300I] (株)アルバック CE300I
シリコンDRIE装置 [ASE-SRE] 住友精密工業(株) MUC-21 ASE-SRE
原子層エッチング装置 [PlasmaPro 100 ALE] オックスフォード・インストゥルメンツ(株) PlasmaPro 100 Cobra 300 ALE
赤外線ランプ加熱装置 [RTP-6 #1] アドバンス理工(株) RTP-6
赤外線ランプ加熱装置 [RTP-6 #2] アドバンス理工(株) RTP-6
赤外線ランプ加熱装置 [RTP-6 #3] アドバンス理工(株) RTP-6
ダイシングソー [DAD322] (株)ディスコ DAD322
ダイシングソー [DAD3220] (株)ディスコ DAD3220

塑性加工 Plastic Working

装置名 メーカー名 型番
鍛造設備(油圧プレス) 川崎油工(株) HFP2-300
70ton大型スウェージングマシーン (株)日本クロス圧延 15HP-DH4
18ton小型スウェージングマシーン (株)日本クロス圧延 USD-6000
熱間2段ロール圧延機 大野ロール(株) HOT-12
溝ロール圧延機 大野ロール(株) 2RMG-400S
冷間4段ロール圧延機 (株)日本クロス圧延 120DX270W-300DX250W
歪み速度制御圧延機 大野ロール(株) 2RM-400S
鍛圧用加熱炉(max.1250℃) 日新化熱工業(株)
鍛圧用移動式加熱炉(max.1200℃) 日新化熱工業(株) EBS-1(S)
溝圧用加熱炉(max1250℃) 光洋サーモシステム(株) SB-20232
熱処理炉(max1400℃) 日新化熱工業(株) EBS-10(S)
焼鈍用熱処理炉(max.850℃) 日新化熱工業(株) EB-5S
1500t鍛造シミュレータ 住友重機械工業(株)、他3社
25t加工熱処理シミュレータ 富士電波工機(株) Thermecmaster Z

素材作製 Metal working

装置名 メーカー名  
水冷銅ルツボ高周波誘導溶解設備 富士電機(株)、NIMS -
5kg高周波誘導真空溶解設備 日新技研(株) NEV-M5V
30キログラム高周波誘導真空溶解設備 日新技研(株) NEV-M30
加圧式エレクトロスラグ再溶解設備 日本特殊機械(株) 型番なし
金属箔圧延機 (有)トップラントエンジ
マルチ冷却式真空熱処理炉 佐藤真空(株)
ワイヤ放電加工機 ファナック(株) α-C400iA
リサイクル分取GPC 日本分析工業(株) LC-9201
グローブボックス MBRAWN Uni Lab
生体分子分離装置群(超遠心機) ベックマン・コールター(株) Optima-LE80K
材料調製装置群(スプレードライヤー) Buchi B-290
材料調製装置群(電気炉) (株)アドバンテック FUH632DA
材料調製装置群(プラズマクリーナー) ヤマト科学(株) PDC200
材料調製装置群(凍結乾燥機) 東京理化器械(株) FDU-2110
機械工作室 工作機械群
試料作製室装置群
硝子工作室装置群
材料創製共通設備群

 

観察・評価 Observation/Evaluation

電子顕微鏡 Electron microscope

微細組織三次元マルチスケール解析装置(SMF-1000) (株)日立ハイテクサイエンス SMF-1000
TEM試料作製用集束イオンビーム加工装置(Scios 2) サーモフィッシャーサイエンティフィック(株) ThermoFisher Scios2
TEM試料自動作製FIB-SEM複合装置(Ethos NX5000) (株)日立ハイテク Ethos NX5000
FIB加工装置(JIB-4000) 日本電子(株) JIB-4000
FIB加工装置(JEM-9310FIB) 日本電子(株) JEM-9310FIB
FIB加工装置(JEM-9320FIB) 日本電子(株) JEM-9320FIB
FIB/SEM精密微細加工装置(Helios 650) 日本エフイー・アイ(株) Helios 650
デュアルビーム加工観察装置(NB5000) (株)日立ハイテクノロジーズ NB5000
清浄表面組織観察FIB-SEM装置(Auriga Laser) カールツァイス(株) ZEISS AurigaLaser
電界放出形走査電子顕微鏡(SU8000) (株)日立ハイテクノロジーズ SU8000
電界放出形走査電子顕微鏡(JSM-6500F) 日本電子(株) JSM-6500F
走査電子顕微鏡(JSM-6510) 日本電子(株) JSM-6510
走査電子顕微鏡(JSM-7000F) 日本電子(株) JSM-7000F
走査型電子顕微鏡(JSM-7900F) 日本電子(株) JEOL JSM-7900F
ショットキー電界放出型走査電子顕微鏡(JSM-7001F) 日本電子(株) JSM7001F
卓上電子顕微鏡 (株)日立ハイテクノロジーズ Miniscope TM3000
卓上電子顕微鏡 [TM3000] (株)日立ハイテクノロジーズ TM3000
卓上電子顕微鏡(TM4000PlusII) (株)日立ハイテク TM4000PlusII
FE-SEM [S-4800] (株)日立ハイテクノロジーズ S-4800
FE-SEM+EDX [S-4800] (株)日立ハイテク / (株)堀場製作所 S4800 / X-MAX 80
FE-SEM+EDX [SU8000] (株)日立ハイテク / Bruker SU8000 / Quantax FQ5060
FE-SEM+EDX [SU8230] (株)日立ハイテクノロジーズ SU8230
200kV電界放出形透過電子顕微鏡(JEM-2100F1) 日本電子(株) JEM-2100F1
200kV電界放出形透過電子顕微鏡(JEM-2100F2) 日本電子(株) JEM-2100F2
200kV透過電子顕微鏡(JEM-2100) 日本電子(株) JEM-2100
局所変形観察・解析電子顕微鏡(JEM-2800) 日本電子(株) JEOL JEM-2800
2軸傾斜バイアス印加・加熱TEM試料ホルダー DENSsolutions Lightning
2軸傾斜液体窒素冷却TEM試料ホルダー Gatan, Inc. Gatan 636
実動環境対応物理分析電子顕微鏡(JEM-ARM200F-G) 日本電子(株) JEM-ARM200F-G
実動環境対応電子線ホログラフィー電子顕微鏡(JEM-ARM200F-B) 日本電子(株) JEM-ARM200F-B
ウルトラミクロトーム(Leica EM UC6) ライカマイクロシステムズ(株) EM UC6
断面試料作製装置(SM-09020CP) 日本電子(株) SM-09020CP
ハイブリッドコーター(Q150R ES) クォーラムテクノロジーズ Q150RES
オスミウムコーター 日本レーザー電子(株) NL-OPC80A
オスミウムコーター 株式会社真空デバイス HPC-1SW
カーボンコーター 日本電子(株) JEC-560
金コーター 日本電子(株) JFC-1500
白金コーター 日本電子(株) JFC-1600
マルチコーター (株)真空デバイス VES-30T
HRTEM解析システム
DPC解析システム (有)HREM qDPC 64bit
電子線トモグラフィー解析システム
精密コーティングシステム Gatan, Inc. Model 682
精密イオン研磨装置(PIPS)  Gatan, Inc. Model 691
精密イオン研磨装置(PIPS II) Gatan, Inc. Model 695
精密イオン研磨装置 Gatan, Inc. 695PIPS II
イオンスライサー 日本電子(株) EM-09100IS
ターボ式真空蒸着装置 サンユー電子(株) SVC-700
卓上SEM (株)日立ハイテク TM4000PlusII
超音波ディスクカッター Gatan, Inc. Model 601
自動精密切断機(ISOMET) BEUHLER Ltd. -
楔形研磨装置 Allied High Tech Products, Inc. -
小型精密切断器 Technoorg Linda Co. Ltd. MS2 MICROSAW
卓上研磨機 (株)マルトー ML-180 DoctorLap
ディンプルグラインダー Gatan, Inc. 656 DimpleGrinder
ディンプルグラインダー Gatan, Inc. 656 DimpleGrinder
ピックアップシステム ピックアップシステム
無損傷電子顕微鏡試料薄片化装置(Model 1040 Nanomill) フィッシオーネ Model 1040 Nanomill
TEM試料作製補助装置群
親水化処理装置 日本電子株式会社 DII-29020HD

プローブ顕微鏡 Probe microscope

装置名 メーカー名 型番
走査型プローブ顕微鏡 [Jupiter XR] オックスフォード・インストゥルメンツ(株) Jupiter XR
走査型プローブ顕微鏡 [L-trace] SII ナノテクノロジー(株)   L-Trace
走査型プローブ顕微鏡 [Nanoscope5] ブルカージャパン(株) Nanoscope 5
液中原子間力顕微鏡 ブルカージャパン(株) NanoWizard 4 XP

光学顕微鏡 ・評価 Optical Microscope/ Optical evaluation

装置名 メーカー名 型番
多角度光散乱検出器 ワイアット・テクノロジー DAWN HELEOS
フーリエ変換赤外分光光度計 (株)島津製作所 IRTracer-100
フーリエ変換赤外分光光度計(IRAffinity-1S) (株)島津製作所 IRAffinity-1S/AIM-9000
円二色性分散計 日本分光(株) J-725
プレートリーダー (株)パーキンエルマージャパン EnSight
ラマン顕微鏡 レニショー(株) inVia Reflex
レーザーマイクロダイセクションシステム ライカマイクロシステムズ(株) LMD7000
レーザー顕微鏡 [LEXT OLS4000] オリンパス(株) LEXT OLS4000
レーザー顕微鏡 [VK-9700] (株)キーエンス VK9-9700G
共焦点顕微鏡SP5 ライカマイクロシステムズ(株) SP5
デジタル顕微鏡(RH-8800) ハイロックス RH-8800
分子材料分光分析装置群(分光光度計) (株)日立ハイテクノロジーズ U-2900
分子材料分光分析装置群(蛍光分光光度計) (株)日立ハイテクノロジーズ F-7000

形状評価 Profile evaluation

装置名 メーカー名 型番
触針式プロファイラー [Dektak XT-A] ブルカージャパン(株) Dektak XT-A
触針式プロファイラー [Dektak 6M] ブルカージャパン(株) DekTak 6M
高精度三次元座標測定機 (株)ミツトヨ CRYSTA-Apex S9106

 

分析・計測 Analysis/Measurement

強磁場計測 High Magnetic Field Measurement

装置名 メーカー名 型番
NMR 日本電子(株) ECS-400
500MHz固体汎用NMRシステム 日本電子(株) ECA500
500MHz固体高分解能NMRシステム 日本電子(株) ECA500
800MHzナローボア固体高分解能NMRシステム 日本電子(株) ECA800
800MHzワイドボア固体高分解能NMRシステム 日本電子(株) ECZ800
大口径超伝導マグネット (株)東芝、NIMS
18T汎用超伝導マグネット装置 ジャパン スーパーコンダクタ テクノロジー(株) JSD-18T52
試料振動型磁化測定装置(VSM) オックスフォード・インストゥルメンツ(株) Maglab VSM system
冷凍機伝導冷却型12T超伝導マグネット装置 ジャパン スーパーコンダクタ テクノロジー(株) JMTD-12T100
大口径17Tマグネット ジャパン スーパーコンダクタ テクノロジー(株) F015
強磁場光学測定システム クライオジェニック

X線回折 X-ray diffraction

装置名 メーカー名 型番
2波長Pilatus低温単結晶X線回折装置_NSC (株)リガク VariMax DW with Saturn
温度可変型粉末X線回折装置_Cu1_NTS (株)リガク SmartLab (9 kW) with cryostat/furnace
多目的X線回折装置_Cu_SSL (株)リガク SmartLab (9 kW)
高速・高感度型粉末X線回折装置_Cu_ASC_NS3 (株)リガク SmartLab3
多環境場対応型X線単結晶構造解析装置 (株)リガク XtaLAB SynergyCustom DW
卓上型X線回折計_Cu_SMF (株)リガク MiniFlex600
卓上型粉末回折計_Cr_SCR (株)リガク MiniFlex600-Cr
卓上型粉末回折計_Cu_ASC_NC1 (株)リガク MiniFlex600-Cu
卓上型粉末回折計_Cu_ASC_NC2 (株)リガク MiniFlex600-Cu_N2
薄膜X線回折装置_Cu (株)リガク SmartLab

元素分析 Elemental analysis

装置名 メーカー名 型番

誘導結合プラズマ発光分光分析装置(マルチ型・デュアルビュー、Agilent5800、千現)

アジレント・テクノロジー株式会社 Agilent5800
電界放出形電子線プローブマイクロアナライザー装置(JXA-8500F) 日本電子(株) JXA-8500F
誘導結合プラズマ発光分析装置(マルチ型)(720 ICP-OES) アジレント・テクノロジー(株) 720 ICP-OES
誘導結合プラズマ発光分析装置(高分解能型) (SPS3520UV-DD) (株)日立ハイテクサイエンス SPS3520UV-DD
誘導結合プラズマ発光分光分析装置(マルチ型・デュアルビュー) アジレント・テクノロジー(株) Agilent5800
微小部蛍光X線分析装置(ORBIS PC) アメテック(株) ORBIS PC
走査型オージェ電子分光分析装置 (JAMP-9500F) 日本電子(株) JAMP-9500F
硬X線光電子分光分析装置(HAX-PES/XPS) アルバック・ファイ(株) Quantes
X線光電子分光分析装置(XPS-Quantera SXM) アルバック・ファイ(株) Quantera SXM
酸素窒素水素分析装置(ONH836)、炭素硫黄分析装置(CS844) LECOジャパン(同) ONH836、
CS844
イオンクロマトグラフシステム サーモフィッシャーサイエンティフィック(株) ICS1600

質量分析 Mass Spectrometry

装置名 メーカー名 型番
二重収束型ICP質量分析装置(ELEMENT XR) サーモフィッシャーサイエンティフィック(株) ELEMENT XR
飛行時間型二次イオン質量分析装置(TOF-SIMS) アルバック・ファイ(株) PHI TRIFT V nanoTOF
マルチガス導入グロー放電質量分析システム(VG9000) サーモフィッシャーサイエンティフィック(株) VG9000
四重極型ICP質量分析装置 アジレント・テクノロジー(株) Agilent7850
LC/MS/MS AMR, Inc. Zaplous
LC/MS/MS(Q-exactive) サーモフィッシャーサイエンティフィック(株) Q-Exactive Plus

電気計測 Electric measurement

装置名 メーカー名 型番
室温プローバー [MX-200/B] ベクターセミコン(株), アジレント・テクノロジー(株) MX-200/B, B1500A
室温プローバー [HMP-400] アジレント・テクノロジー(株), ハイソル(株) B1500A
低温プローバー [GRAIL-408-32-B] Keithley Instruments, Inc.、ナガセテクノエンジニアリング(株) 4200 SCS, Grail-408-32-B
液体窒素プローバー [SB-LN2] サーマルブロック
ケースレーインスツルメンツ
SB-LN2PS, 4200-SCS
ワイヤーボンダー [7476D #1] West·Bond Model 7476D
ワイヤーボンダー [7476D #2] ハイソル(株)(West·Bond) 7476D

物性評価 Physical properties evaluation

装置名 メーカー名 型番
強磁場低温物性自動遠隔測定システム 日本カンタム・デザイン株式会社 物理特性測定システム PPMS16T
エリプソメーター [MARY-102FM] ファイブラボ(株) MARY-102FM
分光エリプソメーター [M2000] J.A.Woollam Co. M-2000U
顕微分光膜厚計 [F54-XY-200-UV] フィルメトリクス(株) F54-XY-200-UV
薄膜応力測定装置 [FLX-2000-A] 東朋テクノロジー(株) FLA-2000-A
熱分析装置(TG/DTA+DSC) (株)日立ハイテクサイエンス TG/DTA 6200, X-DSC7000
ゼータ電位&粒径測定装置(ELSZ-2000ZS) 大塚電子(株) ELSZ-2000ZS
紫外可視近赤外分光計(V-770) 日本分光(株) V-770
分光蛍光光度計(FP-8500DS) 日本分光(株) FP-8500DS
分光蛍光光度計 (Fluorolog-3) (株)堀場製作所 Fluorolog-3
中低温示差熱分析装置(DSC200F3) ネッチ(株) DSC200F
高分子相構造解析システム(PP-1000) 大塚電子(株) PP-1000
フーリエ変換赤外分光計(FT/IR-6700) 日本分光(株) FT/IR-6700
分子材料分離分析装置群(GPC-1) (株)島津製作所 Nexera 40
分子材料分離分析装置群(GPC-2) 昭和電工(株) Shodex GPC-101
材料分析装置群(接触角測定装置) AST products, Inc. VCA Optima XE
材料分析装置群(強度物性測定器) 英弘精機(株) TA-XT2i
ナノ材料分析装置群(パーティクルサイズアナライザー) (株)島津製作所 SALD-2100
ナノ材料分析装置群(動的光散乱計) 大塚電子(株) DLS-8000HAL
ナノ材料分析装置群(レーザーゼータ電位計) 大塚電子(株) ELSZ-1000Z

バイオ Biological analysis

装置名 メーカー名 型番
液体クロマトグラフ質量分析計(LC-MS) サーモフィッシャーサイエンティフィック Orbitrap Exploris 480
リアルタイムPCR ロシュ・ダイアグノスティックス(株) LightCycler 480 System II
マイクロアレイスキャナー アジレント・テクノロジー(株) SureScan G4900DA
細胞分離分析システム ソニー(株) Cell sorter SH800 / Cell analyzer SP6800
CO2インキュベーター 三洋電機(株) MCO-40AIC
クリーンベンチ ヤマト科学(株) ADS131RMUGZ
表面プラズモン解析装置 GEヘルスケア・ジャパン(株) Biacore-X100
安全キャビネット 三洋電機(株) MH131AJ

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